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光源!”
“什么!”通快的代表如遭重击,愣了好一会才问道“技术指标呢?我们通快的深紫外光源相比,性能数据如何?”
“严格来说肯定是不如通快的光源,我们测试了10天的时间,总共出现了32次光线波动,和一次故障,在稳定性上是不如通快的光源的。另外在光源的精度上面也有些差距,但是这个光源基本上是符合我们的技术标准的,是能够安装在光刻机上面使用的!”asl的回答让通快的代表好看了一些,但也仅仅只有一些而已。
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